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공동활용 연구장비

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면저항측정기

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4-point probe system

  • 모델명 CMT-100S
  • 제조사 에이아이티
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2024-03-12
납품업체 에이아이티
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 공과대학 6호관 301호 전남대학교 F3층 324호
구성및성능 1. 측정범위: 1 mΩ/sq ~ 2 MΩ/sq
2. 측정단위: Ω, Ω/sq, Ω·cm & S(두께입력)
3. Electronic accuracy: ±0.5% (Precision resistor)
4. Sample Size: Max 200×200mm(항시 중앙1점 측정)
5. 보석류의 가이드를 체용한 고정밀 4-Point Probe Head 채용
6. 측정방식 Auto / Manual & Single / Dual 선택 가능
7. Sample size 입력으로 보정계수 자동계산 및 적용
8. 온도보정용 온도센서 내장
9. 중앙1점 자동접촉 및 이격
10. Data download & 두께 계산 및 기타 분석기능 S/W 제공
11. 전원 : 220V, 60Hz
장비안내 소모품의 수명을 위해 보석류의 가이드를 장착한 4-Point Probe Head를 장착하고, 샘플 정보 입력만으로 정확한 보정계수를 적용한 면저항 데이터를 구할 수 있으며, 국내 생산품으로 유지보수에 편리함.

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