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공동활용 연구장비

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진공 히팅스테이지

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Vacuum Heating Stage

  • 모델명 MPS-CHH
  • 제조사 (주)넥스트론
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 달리분류되지않는열유체장비

상세정보

구축일자 2023-03-28
납품업체 (주)넥스트론
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 용봉캠퍼스 공과대학 6호관 F2층 201호
구성및성능 ○ Vacuum chamber inner volume : 100 cc
○ Vacuum chamber dimension: 140mmｘ70mmｘ30mm
○ Weight of main chamber : 650 g
○ Temperature range : RT ~ 750 ℃
○ Temperature accuracy : ± 0.1 ℃
○ Thermocouple : K type
○ Sample stage size : Ø12.7 mm
○ Sample fixing : sample fixing jig
○ Heater : UHV/O2 compatible ceramic heater
○ Temperature controller : 10 ms high speed PID control type
○ Temperature controller data communication : RS485
○ Signal feedthrough : SMA (4 set)
○ Window material : Sapphire
○ Window dimension : Ø17 х t0.43
○ Distance to heater surface and bottom of sapphire window : 6.5mm
○ Minimum proximity to heater surface and objective lens : 7.0mm
○ Vacuum line fitting : 1/4 inch tube fitting
○ Gas inlet line fitting : 1/4 inch tube fitting
○ Standard signal cable : SMA-BNC cable
○ Software : temperature control software
○ Certification : CE certified
○ Heater power : DC power controller
2. TURBO PUMPING STATION
○ Vacuum pump : Turbo molecular pump
○ Pumping speed : 67L/s
○ Backing pump pumping speed : 12.5L/min
○ Final pressure : 7.5 x 10-8 torr
○ Cooling method : Air
○ Gate valve : NW25 manual angle valve
○ Vent valve : ball valve
○ Tube : 1/4 inch teflon 1.5m
3. FULL RANGE VACUUM GAUGE
○ NW25 digital vacuum gauge
장비안내 ◯ 상온에서 섭씨 750도까지 온도에 따라, 임피던스, 4단자법 전도도 등을 측정할 수 있게 함. 반도체/이온전도체/강유전체/세라믹샘플/박막/다이오드(솔라셀)/배터리셀 등 다양한 소재와 시스템의 측정

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