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공동활용 연구장비

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주사 전자 현미경 (with EDS)

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Field-Emission Scanning Electron Microscope (with EDS)

  • 모델명 c-nano
  • 제조사 Oxford Instruments
  • 장비용도
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2022-11-15
납품업체 Oxford Instruments
위치
구성및성능 - CMOS-based Electron Backscattered Diffraction detector
- Image size: 1244 x 1024 pixels (max.)
- Digitisation: 12 bit (on-sensor)
- Digital image transfer from detector to PC via high-speed CoaXPress interface
- Distortion: < 1 pixel; each camera is tested in production by imaging precisely formed grid.
- Acquisition speed: 400pps (resolution 312 x 256 pixels)
- Effective operation at low beam current (100pA)
- Space for up to 5 FSDs positioned around phosphor screen
장비안내 Electron Backscatter Diffraction 장비는 전자주사현미경(SEM)에 장착되는 부가 장비로, SEM 기기에서 쏘아진 전자빔을 이용하여 후방산란된 전자들의 diffraction pattern을 분석하는 장비임.
물질의 결정면과 결정축의 방향을 측정하여 가시적 분석을 통한 동일한 물질들의 결정면 배열 정도 및 분포 정보를 획득하여 정량분석, 표면 mapping이 가능함.

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