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대학 자원

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공동활용 연구장비

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표면분석기

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Surface Profiler

  • 모델명 Alpha-Step D-600
  • 제조사 Kla-tencor
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

상세정보

구축일자 2023-10-20
납품업체 Kla-tencor
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 공과대학 1호관 A동 F1층 104호
구성및성능 상세규격
- 3D 측정 영역: 55 × 120mm
- 2D 측정 영역: 55mm
- 측정 속도: 10 ~ 400μm/sec
- 측정 단차 수직 분해능: 0.38Å
- 최대 단차 측정 두께: 1.2mm
- 탐침의 내리 누르는 힘의 범위: 0.03 ~ 15mg
- 반복 측정 재현성: 5Å
- Stage 회전 각도: 360°
장비안내 특징
- 다양한 시편(photoresist, silicon, glass, polymer 등)의 2D 및 3D 표면 정밀 topography 측정이 가능
- 시편은 vacuum chuck에 고정되며 XY motorized stage의 정밀 제어를 통한 3차원 표면 형상 분석이 가능
- 부드러운 소재 측정을 위한 low force 컨트롤이 가능

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