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공동활용 연구장비

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주사형 전자현미경

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Scanning Electron Microscope (SEM)

  • 모델명 SNE-ALPHA
  • 제조사 SEC
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2023-10-31
납품업체 SEC
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 공과대학 1호관 A동 F1층 104호
구성및성능 <상세규격>
- 분해능: 5nm(가속전압 30kV 기준)
- 배율: 20x~250,000x
- 가속전압: 1kV to 30kV
- 텅스텐 필라멘트, 카트리지 교환 방식
- Variable Aperture : 20/20/50/100㎛
- Detector : 2차 전자
- 스테이지 시스템: 5axis Motor(X:40,Y:40,Z:0~40,T:-45~90°, R:360°)
- 최대 시편 크기: 80mm in Diameter, 50mm in Height
장비안내 <특징>
- 일반 테이블에 올려놓고 사용할 수 있는 Tabletop 형태로 설치공간과 주변 외부환경에 제약이 적음
- SE(2차전자) 디텍터가 기본으로 장착되어 고진공 모드에서 분석이 가능함
- 시료의 위치를 확인하기 위해 5개의 스테이지(X,Y,R,Z,T) 이동 축을 사용함
- Navigation Camera가 장착되어 시편 위치호 빠르고 정확하게 이동 가능함
- 대면적 스캔 기능을 기본 포함하고 있어 Stage가 넓은 범위에서도 자동으로 이동하면서 촬영 가능함
- Recipe 기능이 있어 최대 6개의 위치를 저장하여 저장된 위치로 정확하게 이동 및 재분석 가능함

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