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공동활용 연구장비

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저온 이온 빔 밀링 시스템

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Cryo ion beam milling system

  • 모델명 M1061 SEM-Mill
  • 제조사 fischione
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2023-02-14
납품업체 fischione
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교　 공과대학 6호관 F층 807호
구성및성능  Ion accelerating voltage: 1-10 kV or higher
 High quality cross sections with large area above 4 mm width and 1 mm depth
 High quality flat milling with large area above ∅ 25 mm
 Specimen holder ultimate cooling temperature: -160 °C
 Milling speed (100 ㎛ from edge) for cross section (100 Si, the average value over 2 hours): up to 300 ㎛/hr or higher
 LN2 dewar capacity: 25 L
 Max. sample size: 20(W)×12(D)×5(T) mm or larger
 Max. sample movement range: X±5 mm or larger, Y±1 mm or larger
장비안내  경도가 서로 다른 합금재료의 단면 관찰을 위해 Ar 이온빔을 이용하여 절단하여 각각의 시료에 데미지를 최소화 하고 특히 LN2를 사용하여 보다 더 깨끗한 단면의 관찰이 가능함

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