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공동활용 연구장비

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원자탐침현미경

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Atomic Force Microscopy

  • 모델명 NX10
  • 제조사 ㈜파크시스템스
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

상세정보

구축일자 2023-02-23
납품업체 ㈜파크시스템스
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 산학협력공학관 F2층 205호
구성및성능 - 50μm XY Scanner
- Computer with Dual Monitors
- Direct On-Axis Optics with CCD and LED Illumination (1.2 M Pixel Vision)
- Motorized Focus Stage for On-Axis Optics
- Motorized XY Stage
- Motorized Z Stage
- NX Control Electronics
- SmartScanTM Operating Software
- Standard NX AFM Head with Decoupled Flexure-Guided Z Scanner
- XEI Image Analysis Software
- Stand-alone Acoustic Enclosure - AE 203
- Active Vibration Isolation - AVI 01
- Variable Enhanced Conductive AFM (VECA) for NX
장비안내 - 본 장비는 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 탐침을 시료표면에 가져갔을 때 생기는 원자간의 상호작용력을 측정.
- 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석함.
- 튜브 스캐너 대비 약 3~5 배 속도로 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제하고, 하드웨어적인 Closed-loop Feedback 제어로 왜곡현상 없는 이미지 화상을 통한 표면 분석.
- 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석함.
- 대기중에서 극초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체등 모든 시료의 표면 관찰.

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