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공동활용 연구장비

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표면단차측정장비

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Surface profiler

  • 모델명 DXT-A
  • 제조사 Bruker
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 카메라/영상처리장비 > 스캐너

상세정보

구축일자 2021-11-23
납품업체 Bruker
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 산학협력공학관 F2층 205호
구성및성능 ◯ 일반적 성능
- 스캔(측정)거리 : ≧ 150mm
- 측정 속도 : 2um to 25mm / sec
- 측정 검출 횟수 : ≧ 2,000Hz
- 단차 측정 분해능 : ≦ 1 Angstrom / 6.5um range
- 탐침 측정 힘 : ≦ 0.5mg
- 최대 단차 측정 영역 : ≧ 327um

◯ 측정 재연성
- 단차 반복 측정 재연성 (1 Sigma)
: ≦ 0.4nm @ ≦ 10,000 Angstrom ( 10회 반복 측정)
: ≦ 0.1% @ ≧ 10,000 Angstrom 영역 경우

◯ 측정 시료 측정 조건
- 스테이지 모터 움직임 : ≧ 150mm 지름 원형 (Diameter)
- 스테이지 회전 각도 : ≧ 360 degree
- 최대 측정 가능 시료 두께 : ≧ 20mm
- 최대 측정 시료 무게 : ≧ 1 Kg
장비안내 ◯ 샘플의 크기는 지름이 최대 150mm 인 원형까지 가능함. 위 장비는 보다 향상된 기능을 제공하여 공정 개발이나 자연과학, 태양광 제조,반도체 개발, MEMS, 광학소자 그리고 기타 산업전반에 필요한 표면의 분석/측정에 사용됨.
◯ 시스템은 6인치 웨이퍼의 사용을 위하여 150mm의 스캔(측정) 길이와 1 Angstrom 이하의 분해능 사양을 갖고 0.5mg의 Stylus림을 포함한 다양한 측정속도를 선택 가능.

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