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공동활용 연구장비

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주사 전자 현미경 (with EDS)

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Field-Emission Scanning Electron Microscope (with EDS)

  • 모델명 SU5000
  • 제조사 Hitachi
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2021-02-26
납품업체 Hitachi
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 산학협력공학관 F2층 203호
구성및성능 1. Spatial Resolution
- 1.2 nm at 30 kV
- 3.0 nm at 1 kV
2. Magnification :
- x10 ~ x600,000 (based on 4 "x 5 "picture)
- x18 ~ x1,000,000 (800x600 pixels on display)
- x30 ~ x1,500,000 (1,280x960 pixels on display)
3. Acceleration Voltage : 0.5～30 kV (0.1 kV step)
4. Specimen Stage
- X : 0 ~ 100 mm
- Y : 0 ~ 50 mm
- Z : 3 ~ 65 mm
- T : -20 ~ 90 °
- R : 360 °
5. specimen Size
- Up tp 200mm dia.
- Maximum 80 mm height
6. Detector : Evehart Thonley SE detector （Lower detector)
장비안내 주사전자현미경은 집속된 전자탐침을 시료에 조사하여 시편으로부터 발생되는 2차 전자, 후방산란전자, 엑스선 등과 같은 다양한 신호를 검출하여 무기재료, 생체시료 등의 조직, 표면입체구조, 형태, 결함 같은 물리적인 상태를 수배에서 수십만배까지 영상으로 관찰을 할 수 있으며, 무기원소의 정량, 정성해석을 동시에 수행할 수 있다.

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