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공동활용 연구장비

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주사전자현미경

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Scanning electron microscope

  • 모델명 SNE-4500M
  • 제조사 쎄크(Sec)
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2019-07-26
납품업체 쎄크(Sec)
위치 광주광역시 북구 용봉로 33 전남대학교 생체의료시험연구센터 F1층
구성및성능 1) 분해능 : 5nm(30kV, SE) 이하
2) 배율 : 20× ~ 150,000×
3) 가속전압 : 1kV ~ 30kV (3step 이상)
4) 전자수집
① 2차 전자(Secondary Electron) : E-T Detector type
② 후방산란 전자(Back Scattered Electron Detector) : Solid state 4-segment Type
5) 전자총
① Tungsten Filament (cartridge), 카트리지 교환방식
② 집속렌즈
③ 대물렌즈
6) Stage System
① 3축 이상 (X:35mm이상, Y:35mm이상, R:360°, Tilt : -15~45° 이상)
② 진공상태에서 이동 축 사용 및 영상 구현 가능
③ Sample Size : Min 70mm in Diameter, Min 50mm in Height
7) 진공시스템
① 완전자동화 또는 수동 모드
② 저진공 : Rotary Pump (100Liter 이상)
③ 고진공 : Turbo Molecular Pump (80Liter 이상)
④ 고진공시간 시작 후 3분 이내 진공완료
⑤ 진공해체완료는 2분 이내
8) 기타
① 자동 초점 조정이 가능
② 자동 명암 & 밝기 조정이 가능
장비안내 1) 설치공간과 주변 외부환경에 제약이 적으며, 일반 테이블에 올려놓고 사용할 수 있는 Tabletop 형태로 구성
2) 고진공 펌프(Turbo Molecular Pump)를 기본 장착하여, 대기시간부터 진공이 완료되는 시점은 3분 이내임. 보조펌프로는 Rotary Oil Pump를 사용하며 오일 교환이 용이
3) SE(2차 전자) 디텍터가 기본으로 장착되어 있으며, 고진공 모드에서도 분석이 가능
4) 시료의 위치를 확인하기 위하여 스테이지 이동 축을 사용하며 키보드 및 마우스만을 이용하여 이동 가능
5) 외부에 CCD 카메라가 장착되어 샘플의 원본을 상단에서 촬영하여 Snap shot 된 이미지가 SEM 소프트웨어에 디스플레이
6) 이미지 분석을 위해 샘플화면을 클릭하면 자동화된 모터 스테이지를 통해 분석위치로 이동이 가능
7) Recipe 기능은 6개 이상 위치를 기억 할 수 있음. 불러오기 버튼으로 저장된 위치로 자동이동 되며 동일위치를 재분석 할 수 있는 기능이 포함
8) Chamber 측면에 EDS 장치가 구성

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