Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

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초정밀 3차원 부품 제작 시스템

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Ultra-precise 3D Component Manufacturing system

  • 모델명 Photonic Professional GT
  • 제조사 Nanoscribe
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리분류되지않는반도체장비

상세정보

구축일자 2017-12-05
납품업체 Nanoscribe
위치 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 43-26 전남대학교 첨단캠퍼스 마이크로의료로봇센터 별관 F1층 101
구성및성능 1. Femtosecond fiber laser pulse length (120 fs Average Power) 120mW
2. 출력크기 10 x 10 x 10mm 이내
3. x-y해상도: <0.5um, z해상도: <1um
장비안내 본 장비는 레이저 광원의 간섭효과를 이용하여 넓은 영역에 3D 마이크로 구조물을 패터닝하는 장비로서 액체상태의 photoresist를 레이저를 이용하여 고형화시키는 원리를 가진 장비이다.

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