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공동활용 연구장비

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저온 진공 반도체 특성 측정 장비

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Vacuum Chamber Probe Station

  • 모델명 Vacuum chamber M5VC
  • 제조사 ms tech
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2018-06-13
납품업체 ms tech
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 다산빌딩 605호(나노표면화학연구실) F6층 605
구성및성능 1.Equipment
1)Vacuum Chamber Probe Station
-Chamber positioner and holder : X, Y, Z axis handle로 팁의 방향과 위치를 잡는 장비.
-Rotary pump and Vacuum controller : 샘플 모니터 후, 진공을 잡아줌
-Vacuum gauge : 진공 펌핑 시 현재 압력도를 체크하여 보여줌
-HD CCTV camera, Microscope and Light fiber and Monitor : 샘플을 현미경으로 확대하여 모니터에 영상화.
-Hotchuck controller : 고온상태로 정말하게 가열 측정하여 화면에 표시 및 제어.
-Plate panel :반도체 실험용 평판.
-Fiber volume controller : signal volume 을 조절하는 장비.
장비안내 Chamer에 위치시킨 Sample을 10^-3 Torr 이하의 진공 하에 Probe tip을 고정하여 전기적 특성을 검사한다.
물리적 접촉이 일어나는 장비군중 가장 정밀도를 가지고 있는 장비로 um 범위 내를 가진다.
본 장비는 10^-3 Torr 이하의 진공 수준에서, Temperature control을 통해 Test를 진행할 수 있으며, 부착되어 있는 장비들을 통해 다양한 결과 값을 가지어 수준 높은 분석이 가능하다.

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