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공동활용 연구장비

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3차원 마이크로 표면 측정기

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3D Micro Surface Profiler

  • 모델명 NV-3200
  • 제조사 Nanosystem
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 길이측정장비

상세정보

구축일자 2017-10-26
납품업체 Nanosystem
위치 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 43-26 전남대학교 첨단캠퍼스 마이크로의료로봇센터 별관 F1층 101
구성및성능 1. vertical scan speed : 2.4um/s~12um/sec
2. max workpiece height <100mm
3. x/y axis resolution: 0.1um
4. x/y stage stroke <300mm
5. z axis resolution: 0.1um
장비안내 본 장비는 비접촉식 백색광주사간섭계 WSI(White Light Interferometry) 기술을 이용, 높은 분해능(0.1nm)의 빠른 속도(2초)로 표면을 측정하는 장비임.
비접촉식으로 2D 및 3D 형태로 측정결과를 볼 수 있음

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