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공동활용 연구장비

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Aligner

  • 모델명 MDA-400S
  • 제조사 마이다스시스템(주)
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비

상세정보

구축일자 2017-07-20
납품업체 마이다스시스템(주)
위치 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 43-26 전남대학교 첨단캠퍼스 마이크로의료로봇센터 별관 F1층 101
구성및성능 1. 구성
1)Light Source Module
2)Microscope Module
3)Stage and Controller Module
4)Anti Vibration Table
5)Vacuum Pump
6)Chuck & Mask Holder
2. 샘플사이즈: ~ 6 inch
3. 마스크 사이즈: 7 x 7 inch
4. 듀얼 CCD 줌 현미경, LCD(19inch) 모니터
장비안내 본 장비는 감광막에 자외선을 직접 조사하여 반응하게 하는 시스템으로서 다양한 기판위에 마스크 모양을 1:1 전사. 마스크와 기판의 긴밀한 접촉을 통하여 최소선폭 1um까지 구현이 가능하며, 박막 증착 및 식각 공정을 반복적으로 수행함에 있어, 고배율의 듀얼 현미경을 통하여 마스크와 정렬이 가능.

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