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공동활용 연구장비

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진공증착기

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Vacuum evaporators

  • 모델명 JVMS-23M151S
  • 제조사 제이벡
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2016-02-05
납품업체 제이벡
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 산학협력공학관 B1층 B001
구성및성능 ○메인 시스템 컨트롤러
-PLC Based Touch Panel ？ Full Auto Type
-Safety for System & Human - Interlock
○공정 챔버
-재질 : SUS 304 Welded
-Door : Lift Up Unit using Gas Cylinder for Maintenance of Chamber
-냉각 : Water Cooling at Chamber Wall
-Viewpoint : 1 or 2
○진공 시스템
-저진공 : 로터리펌프 1,200L/min), 공기냉각유형, 미네랄오일 타입
-고진공 : Turbo Molecular Pump 1,100L/sec, Magnetic Suspension Type, 냉각수 순환방식
○Substrate chuck
-150mm x 150mm
-SCR장치를 사용하여 자동 PID온도 제어 - 최대 300°C (실온에서 5분 이내)
-전원공급장치 AC Power Supply (10V 300A) 2개 (High Current Electrical Feed-Through with Cable Electric Pneumatic Drive for Shutter)
○Monitoring
-Film Rate-Thickness controller
-Vacuum Gauge Low Vacuum Gauge High Vacuum Gauge
장비안내 다중 타겟 열 증착기는 다양한 반도체 기초소재의 기상 박막증착 및 소재합성에 관련한 연구에 사용이 가능하다. 다중 타겟 열 증착기의 경우 다양한 전구체 물질을 동시에 기화시켜 시편의 표면에서 증착과 합성이 함께 이루어 질 수 있어 도핑, 물질의 컴포지션 변화, 그리고 다양한 복합성분물질에 관련한 기상증착 연구범위를 확대할 수 있고, 다중 타겟 열 증착기를 활용 시 단일 성분물질 증착에 국한된 연구의 한계를 벗어나 복합성분물질의 기상증착분야에 적용되어 다양한 기초소재 관련분야의 연구에서 활용도가 크다.

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