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공동활용 연구장비

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미세 패턴 형성기

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Direct Write pattern generator

  • 모델명 UPG-501
  • 제조사 Heidelberg Instruments
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프린팅장비

상세정보

구축일자 2012-07-24
납품업체 Heidelberg Instruments
위치 광주광역시 북구 용봉로 77(용봉동) 전남대학교 광주캠퍼스 공과대학 1호관 A동 F1 104
구성및성능 라이트 소스: 10W 390nm LED
최소 패턴 선폭 사이즈: 1.0 um
최대 패턴 형성 사이즈: 100mm x 100mm
패턴 형성 기판 두께: 최소 0mm 최대 6mm
최대 패턴 라이팅 속도: 50mm2/min
장비안내 상기 제품은 390nm 파장의 10W High power LED 라이트 소스를 사용하여 감광성 물질이 도포된 평판 제품 위에 기설계된 마이크론 단위의 패턴을 다이렉트 리소그래피 기술을 이용하여 직접 드로잉하는 장비입니다.
아울러 라이트 소스의 광량을 128 단계로 제어할 수 있는 Gray Scale Expsoure 기능으로 Blazed grating Micro lens array 등과 같은 3차원 형상 가공이 가능합니다.
상기 장비를 이용한 사업 분야에는 MEMS BioMEMS Integrated Optics BGA (Ball Grid Array) Mask Making MLA (Micro Lens Array) Prisms Gratings CGH (Computer Graphic Hologram) 3D Structuring 등이 있습니다.

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