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공동활용 연구장비

장비사진

표면거칠기측정장치

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Alpha Step

  • 모델명 Dektak 150
  • 제조사 Veeco
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

상세정보

구축일자 2011-01-11
납품업체 Veeco
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 산학협력공학관 B1층 B001
구성및성능 1
장비안내 * 알파스텝

- 박막 모폴로지(두께 측면경사 등)를 측정하는 광학박막의 특성을 평가하는 장비

- The New Industry Standard
: Large standard Z range of 1 millimeter enables lasger step measurements

: Optional D150＋low-noise electronics provides industry-best 4-angstrom repeatability

: Optinal X-Y automated stage delivers programmability of over 200 locations

: Optional chucks to accommodate diverse samloe requirements

: Cast aluminum frame and rigid support elements drastically improve repeatability and lower noise floor

: temperature range : Between 20 and 25℃

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