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대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

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다목적코팅시스템

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MULTI PURPOSE HYBRID COATER SYSTEM

  • 모델명 ATSMCSTD300
  • 제조사 아텍시스템
  • 장비용도
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기

상세정보

구축일자 2004-11-26
납품업체 아텍시스템
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 공과대학6호관 B1층 b001
구성및성능
장비안내 특징
"-Chamber size:내경 Φ600 높이 : 650mm -Jig 자전/공전 Bias 인가가능 -Mass flow control : N2 H2 Ar CH4 O2 (5종) -Power type : RF DC MF -Ion Plating -Magnetron Sputter (DC) -Arc Ion Plating"

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