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표면거칠기측정장치

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SURFACE PROFILE MEASURING SYSTEM

  • 모델명 Dektak 150
  • 제조사 Veeco
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

상세정보

구축일자 2010-12-31
납품업체 Veeco
위치 광주광역시 북구 용봉로 77(용봉동) 전남대학교 광주캠퍼스 공과대학 1호관 A동 F1 104
구성및성능 ⇒ Scan Method : Stylus (LVDT sensor with sub-Angstrom resolution)precision scan stage linear scan path and ptically flat reference
⇒ Stylus size : 2um radius 60 degree cone angle standard
⇒ Scan Length : 55mm maximum
⇒ Step Height Repeatability : 6 � 1sigma on 1000A or 1 micron step
⇒ Vertical Range : 1nm-524�m standard
⇒ Vertical Resolution : 0.1nm (Max)
⇒ Stylus force : 1-15 mg. (down to 0.03 mg. optional)
장비안내 본 제품은 N/MEMS 공정 중 표면의 형상 및 거칠기를 분석하기 위한 장비이며 Vecco사의 Dektak 150는 고반복성 최상의 sample 대응력 고제진력 최적조건의 모듈성 3D Mapping와 자동화 패키지가 되어 있으며 또한 사용이 쉽고 편리하며 powerful한 소프트웨어를 가지고 있다. 측정은 접촉 stylus profilometry를 이용하여 2D 및 3D로 표면 형상을 분석 할 수 있으며step height 반복성은 ≤6Å[D 150] ≤4Å[D 150+옵션] 1sigma on 0.1㎛ step를 갖고 있다.

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