Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

20110207000000103649.jpg

웨이퍼식각기

상담·문의하기

Plasma cleaning system

  • 모델명 VSP-88A
  • 제조사 Vision Semicon
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 식각장비

상세정보

구축일자 2011-02-08
납품업체 Vision Semicon
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 산학협력공학관 B1층
구성및성능
장비안내 * Plasma를 이용하여 반도체 소자 및 LED 소자 제조 공정중의 요구되는
etching 또는 surface cleaning 공정을 수행하는 장비로써
LED 소자 제조공정에 대한 실험·실습 교육에 필수적인 장치임.

- 고밀도 플라즈마를 이용하여 일반적인 Oxide Metal 및 Poly등 모든 공정 chamber 및 전통적인 dielectric etch application에 적용 가능
- BGA Chip Packing(Suface Cleaning) 유기물 습기 등 미세물질 제거 및 반도체 Package 분야(Wire bonding Die attach EMC molding Chip 표면인쇄) 전처리용

목록보기