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공동활용 연구장비

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진공증착기

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Thermal Evaporator

  • 모델명 PK-TE4
  • 제조사 플러스코랩
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2010-11-16
납품업체 플러스코랩
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 산학협력공학관 F2층 205
구성및성능 구성및성능
진공 장비를 이용하여 MFP를 증가시켜주고, 2개의 W(텅스텐) boat를 이용하여 줄열을 이용한 시료 가열 시스템
장비안내 특징
시료를 가열하여 생성된 증기를 이용하여 원하는 기판위에 박막을 성막시키는 장비