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주사탐침현미경

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Scanning probe microscopes

  • 모델명 XE-100
  • 제조사 ㈜파크시스템스
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

상세정보

구축일자 2009-10-16
납품업체 ㈜파크시스템스
위치 광주광역시 북구 용봉로 77(용봉동) 전남대학교 광주캠퍼스 공과대학 1호관 A동 F1 104
구성및성능 구성및성능
1) 콘트롤 시스템
- CPU & 메인 메모리 : Pentium IV 1 GB
- 저장장치 : 160GB hard disk and 3.5-inch 1.4MB FDD CD-R/W
- 그래픽 : Super VGA Graphics 1280x1024 pixel
- 운영체계 : 윈도우 XP Professional
- X/Y/Z 콘트롤 회로 : 3축 모두Closed-loop Feedback 위치제어
- DSP 제어 : 600 MHz DSP Control ( 4800 MFLOPS )
- Electrical Controller : 16 channel of 16 bit DAC at 500kHz settling
16 channel of ADC at 500kHz sampling
- 듀얼 19 인치 LCD 모니터
- 16 비트 해상도를 갖는 3개의 입력단과 1개의 출력단이 하나의 보드에 장착
- 외부신호와의 동조를 위한 End-of-pixel end-of-line end-of-frame TTL 신호출력단이 있음
- 컴퓨터 / 콘트롤러 통신 : TCP/IP 또는 USB
2) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너
- 최대 샘플 사이즈 : 100mm x 100mm ( 두께 : 최대 20mm thick )
- 최대 샘플 중량 : 500 g
- 샘플 이동거리 : 최대 25mm x 25mm ( 고정밀 수동 마이크로미터 )
- 100 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어
* 수평(XY) 측정영역 : 최대 50 um x 50 um (Low Voltage Mode :5umx5um)
* 분해능 : 〈 0.04 nm (open-loop) 〈 1.5 nm (closed-loop)
* Out-of-plane curvature (스캐너 왜곡율) : 1 nm 미만 (수직방향 / 소프트웨어
보정 없이50 um 측정 시)
- 수직(Z) 스캐너 :
* 수직(Z) 측정 영역 : 최대 12 um ( Low Voltage Mode : 1.7 um )
* Noise floor : 〈 0
장비안내 특징
-원리
뾰족한 탐침이 달려 있는 마이크로캔틸레버를 시료 표면에 접근시키면 탐침 끝의 원자 와 시료표면의 원자 사이에 서로의 간격에 따라 끌어당기거나(인력) 밀치는 힘(척력)이 작용하는데 이 힘의 크기에 따라서 캔틸레버가 많이 휘어지거나 적게 휘어지게 된다. 이때 캔틸레버가 아래위로 휘는 정도를 레이저 광선을 이용하여 측정하여 표면을 원자 크기로 형상화 할 수 있다.

1. 대기중에서 극초정밀 분해능으로 시료표면 관찰
2. 원자수준의 분해능으로 3차원 입체구조 분석
3. 하드웨어적인 Closed-loop Feedback 제어로 왜곡현상 없는 이미지 화상 도출
4. 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제
5. 고속구동 가능한 수직(Z) 스캐너 ( 최대 주파수 : 1.7 kHz )
- 튜브 스캐너 대비 약 3 ~ 5 배 속도
- True Non-Contact Mode 측정 가능
* Tapping Mode로는 측정할 수 없는 Soft 샘플 등 측정 가능
6. 수직(Z) 스캐너 축에 일치된 광학 현미경
- 측정 위치 찾기 / 위치 이동에 편리

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