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공동활용 연구장비

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진공증착기

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Vacuum evaporator

  • 모델명 AP-MBE100
  • 제조사 (주)알파플러스
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2009-12-09
납품업체 (주)알파플러스
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 공과대학1호관 F1 B 109
구성및성능 본 장비는 국가연구개발사업으로 구축된 장비로서 전남대학교산학협력단에서 운영,관리되는 장비입니다. 자세한 장비정보 및 사용에 대한 문의는 해당장비 담당자 또는 전남대학교산학협력단에 문의하여 주시기 바랍니다.
장비안내 특징
1. 증착 두계: Up to 50 마이크로미터
2. 증착 물질: 금속류, W, Al 등
3. 필름 두께 균일도: ± 3% on 6 인치 기판
4. 기판 종류: Al plate, Glass, etc
5. 증착방법: DC magnetron 스퍼터링 방법으로 증착

구성및성능
1. 스퍼터링 방향 조절: 임의의 각으로 스퍼터링 방향 조절 가능한 장치
2. 박막균일도 조정장치: 균일도를 조절할 수 있는 장전전극구조 장착
3. 기판 처리량: 6inch*1sheet / batch
4. 최고 진공도달 압력: 7*10-7 Torr
5. 진공챔버: 전면 여닫이형 공정챔버 및 별도의 시료공급용 챔버
6. 콘트롤시스템: 퍼스널 컴퓨터와 PLC를 이용한 수동 및 자동작동

활용분야
1

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