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주사전자현미경

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SEM

  • 모델명 SNE-5000M
  • 제조사 쎄크(Sec)
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2010-04-12
납품업체 쎄크(Sec)
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 산학협력공학관 F2층 205
구성및성능 구성및성능
* 구성
1. 디스플레이
- 주사속도 : High Scan : 320*240(live)
Low Scan : 800*600(3sec)
Photo 1 : 1280*960(30sec)
Photo 2 : 260*1920(60sec)
- 모니터 : 22 wide LCD CCD Camera
2. 제어시스템
- 컴퓨터 : 펜티엄4 메모리(2GB)
- 운영 : Window vista
3. 진공시스템
- High Vacuum / Low Vacuum (Option)
- Rotary Pump(200liter) + Turbo Pump(300liter)

* 성능
1. 분해능 : 3.5nm(30kV SEI)
2. 배율 : x10 ~ x300000
3. 가속전압 : 0.5~30Kv
4. 영상 : 2차 전자(SE) / BSED0option
5. 전자총 : 텅스텐 필라멘트 방식
6. Working Distance : 15mm
7. 스테이지 : 5-axis Motorized System
8. 이송거리(X/Y/R) : 100mm/ 100mm/ 360도
( Z/T) : 5 to 60mm / -20~90도
9. 최대 샘플 사이즈 : 200mm
10. 최대 샘플 높이 : 60mm
장비안내 특징
주사전자현미경은 전자선이 시료면 위를 주사(scanning)할 때 시료에서 발생되는 여러 가지 신호 중 그 발생확률이 가장 많은 이차전자(secondary electron) 또는 반사전자(back scattered electron)를 검출하는 것으로 대상 시료를 관찰한다.

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