Research Hub

대학 자원

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공동활용 연구장비

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진공증착기

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Plasma Enhanced CVD System

  • 모델명 PD-270STP
  • 제조사 Samco
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 플라즈마기상화학증착장비

상세정보

구축일자 2008-12-22
납품업체 Samco
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 산학협력공학관 B1층 B001
구성및성능 구성및성능
· Reaction Chamber
· Electrodes
· Gas Supply Unit
· Heating Mechanism
· Vacuum Unit
· System Controller
· Sample Size : 3ea×4"Ø wafer
· RF Power Supply ≥ 1000watt (13.56 MHz)
· Shower head type manifold
· Four mass flow controlled lines
· Liquid Source Line: TEOS, TMG
· Turbo molecular pump
· Process vacuum pump
· Automatic operation by programmable controller
·Uniformity(WIW) : ±5%
장비안내 1

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