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공동활용 연구장비

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진공증착기

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Metal film deposition system

  • 모델명 NSMS-DC5000T
  • 제조사 네오세미테크
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2009-01-22
납품업체 네오세미테크
위치 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 43-26 (오룡동) 1110-26 전남대학교 첨단캠퍼스 산학맞춤형 교육연구센터
구성및성능 구성및성능
1. Deposition Chamber System : Sputter Up Type Process Chamber
- Chamber Size : dia 680 × 280h 이상
- Body : All Stainless Steel (water jacket type)
- Substrate Holder : Al (4"& 6" wafer) 0-20 RPM & Up/Down
- Rotation Magnet Type Sputter Gun : dia 8"
2. High Vacuum System
- Cryo Pump (CRYOTEC-8) : 1500 1/sec(air)
- Direct Drive Rotary Pump : GHP-800
- Vacuum Tubing : All Stainless Steel
3. Gas Flow Control System
- Mass Flow Controller : Ar 100sccm O2 50sccm
- MFC Readout & Power Supply : 3 Channel
4. Electrical Controller & Sputter Power Supply
- Main Power Controller : AC220 3P 50A
- Sputter Power : DC Power Supply (SMPS) 5KW
- Control Type : automatic
- 12" Touch Screen & Full Automatic Control CPU
- Other Main Frame etc.
장비안내 특징
1. 본 장비는 여러 금속원소를 증착하여 박막을 형성할 수 있는 장비로서 최대 6“ 크기의 웨이퍼에 금속박막을 증착시킬 수 있는 Pilot형 장치임
2. 조작이 간편하고 정밀한 조성의 제어가 가능

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