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공동활용 연구장비

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웨이퍼식각기

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ETCHER

  • 모델명 TEL UNITY IIE SCCM
  • 제조사 Noah Precision
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 절삭장비 > 연삭/연마장비

상세정보

구축일자 2009-05-28
납품업체 Noah Precision
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 333 (대촌동) 958-3 광주테크노파크 타이타늄센터
구성및성능 구성및성능
TEL Unity II Wafer Handler
SCCM 2 chamber
Process Gas: C4F8 CF4 CHF3 O2 Ar
RF Generator : 13.56MHz- 2.5KW (Top)
13.56MHz- 2.0KW (Bottom)
ESC: He Back-side Cooling
8inch Wafer capability
장비안내 원리: CF4 CHF3 등의 CH F 계열의 에칭가스를 플라즈마 진공장치에 의하여 이온화시킨 후 활성화
된 이온을 실리콘 웨이퍼에 충돌시켜 웨이퍼 상의 이산화규소 막을 식각하는 장치임.

특징: 200mm 실리콘 웨이퍼 전용 자동로봇에 의한 기판이송장치 자동 공정제어기능

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