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대학 자원

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공동활용 연구장비

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진공증착기

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ITO evaporator

  • 모델명 KVE-3002S24A
  • 제조사 코리아바큠테크㈜
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기

상세정보

구축일자 2008-11-21
납품업체 코리아바큠테크㈜
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 산학협력공학관 B1층 B001
구성및성능 · Main Processing Chamber
· High Vacuum Pumping Unit
· Substrate Rotation & Revolution & Heating Unit
· Electron-Beam Source
· Main System Controller with Vacuum Gauge
· Thickness Rate Controller & Gas Inlet System
· Self Rotatingfor Lift-Off Process domes ≥ 2"× 20 wafers / run
· Planetary rotating dome for conformal process upgradable≥ 2"× 45 wafers / run
· E-beam source : 4 Pocket of 25cc Crucible or higher
장비안내 가속시켜 얻어지는 에너지로 소스를 가열하여 LED의 투명전극인
ITO 박막을 증착하는 장비

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