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공동활용 연구장비

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실험용 스퍼터

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Pilot Production Sputter

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 비엠씨
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2005-07-14
납품업체 비엠씨
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 333 (대촌동) 광주테크노파크 산학협력3호관 F1층 101
구성및성능 [주요 사양]

- 도달 진공도 : ≤ 5 x 10-7 torr (공챔버에서 12시간 펌핑 후)

- 초기 진공도 : ≤ 8 x 10-6 torr

- 작업 진공도 : ≒ 1~5 mtorr (자동 조절)

- ROR(Rate Of Raise) : ≤ 5 x 10-5 torr liter / sec

- 박막 Uniformity : ± 5% @ 297 x 210 mm (126mm×380mm 사용 시)
장비안내 [소개]

- 전기화학 스트립형 바이오센서의 전극 형성

- 금 백금 팔라듐 등의 귀금속을 target으로 장착하여 사용

[특징]

- 298(L)× 210(W)× 0.25(t) Polymer Film 12매를 한번에 넣어서 Au /Pt /Pd 등을 1000Å이하의 두께로

막을 증착시켜 10분 이내의 Cycle Time을 가지는 장치

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