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공동활용 연구장비

장비사진

초고진공레이저빔 증착시스템

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Laser MBE System

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 한백tech
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리분류되지않는광파발생/측정장비

상세정보

구축일자 2004-07-02
납품업체 한백tech
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 산학협력공학관 F2층 205
구성및성능 * 주요구성 및 성능
- Process chamber for UHV / 1 ea
- Load-lock chamber / 1 ea
- Pumping system for UHV / 1 set
- Vacuum measurement unit / 2 set
- Sample manipulator sample holder / 1 set
- RHEED package with software / 1 set
- Ozone generator and delivery unit / 1 set
- Target carrousel and holder / 1 set
- Bakeout unit / 1 set
- PC / 1 set
- System frame and control rack / 1 set
장비안내 * 원리및 특징
화합물 반도체 에피박막을 성장시키는 장비이며 특히 성장과정의 모니터링이 가능하여 박막성장 기구의 유추가 가능한 장비

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