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공동활용 연구장비

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자동화생산시스템

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Flame Hydrolysis Depositon System

  • 모델명 FHD System
  • 제조사 아론
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 자동화/이송장비 > 자동생산라인장비

상세정보

구축일자 2008-05-20
납품업체 아론
위치 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 43-26 (오룡동) 1110-26 전남대학교 첨단캠퍼스 산학맞춤형 교육연구센터
구성및성능 구성및성능
GAS TRAIN UNIT REACTOR X-Y AXIS STAGE OVER HEAD&PROFIT
장비안내 특징
화염가수분해증착시스템은 광통신에서 사용되는 수동형 집적광학소자를 제작하는 공정으로서 SiCl4 를 기상화시켜 산소와 수소의 혼합물에 의해 생성되는 고온의 화염에 공급함으로써 수화반응과 산화반응을 통해 실리카(SiO2)층을 형성하는 방법임. 특히 FHD 시스템은 증착 속도가 1~2μm/min 정도로서 수십μm의 두께를 요하는 실리키 광 도파로의 제작에 가장 효율적인 방법으로 알려져 있으며 현재 포토닉스업계에서는 고품질 실리카 광도파로 제조법으로 대부분 FHD공정을 이용하고 있음.

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