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공동활용 연구장비

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유도결합플라즈마식각장치

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유도결합플라즈마식각장치

  • 모델명 VSICP4001A
  • 제조사 베큠사이언스(Vacuum Science)
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 플라즈마기상화학증착장비

상세정보

구축일자 2003-06-25
납품업체 베큠사이언스(Vacuum Science)
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교 용봉캠퍼스 공동실험관 F1층
구성및성능 .
장비안내 .

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