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공동활용 연구장비

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Low-pressure-plasma-system

  • 모델명 V6-G
  • 제조사 Plasma Finish
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 달리분류되지않는기계가공/시험장비

상세정보

구축일자 2006-04-28
납품업체 Plasma Finish
위치 광주광역시 북구 용봉로 77(용봉동) 전남대학교 광주캠퍼스 공과대학 1호관 A동 F1 104
구성및성능 1) Field of application - Material ashering - Cleaning - Surface Midification 2) Process chamber -
Material: Aluminium - Inside dimensions: 170×170×200 mm³ - 2 gas inlet pipes - top mounted - Microwave
coupling - top mounted - Vacuum coupling on chamber base - Service hole 1ea 3) Gas channel - One gas
channel with Mass Flow Controller and magnetic valve for O₂ 4) Process control - PLC-Control unit (PP35
by B&R) - Capability of 10 main processes - LCD display monitor - (160×80 points) - Full status and
error monitoring 5) Vacuum gauge - Rirani vacuum tube 6) Microwavepower generator - Frequency : 2.45GHz -
Regulated magnetron - Variable power 50Watt to max. 300Watt 7) Safety equipment - Emergency off switch -
Mechanical interlock for microwave power - Intergrated vacuum interlock - Microwave and UV absorbent
viewing port 8) Outer dimensions - Table top system - 760*520*510 mm³ - The vacuum pump is placed behind
or under the systems
장비안내 PR Ashering, Etchering, Cleaning, Surface modification 등 사용자의 목적에 따 라 한대의 설비로 4가지의 기능을 수행 할 수 있음

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