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공동활용 연구장비

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반도체칩검사장치

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Semiconductor Characterization System

  • 모델명 4200-SCS/F
  • 제조사 Keithley Instruments
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2007-05-17
납품업체 Keithley Instruments
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) (용봉동) 전남대학교 용봉캠퍼스 공과대학 6호관 F3 326호
구성및성능 최저 측정 가능한 전류크기의 측정범위에 있어서 0.1fA로써 HP(1fA) 보다 높은 분해능을 구현하고
있음


본 장비는 국가연구개발사업으로 구축된 장비로서 전남대학교산학협력단에서 운영,관리되는 장비입니다. 자세한 장비정보 및 사용에 대한 문의는 해당장비 담당자 또는 전남대학교산학협력단에 문의하여 주시기 바랍니다.
장비안내 특징
다양한 펄스 형태의 구동으로 High k material 구조에서 발생하는 Charge trapping 으로 인한 영향
에 대한 분석이 쉽게 가능하다

구성및성능
최저 측정 가능한 전류크기의 측정범위에 있어서 0.1fA로써 HP(1fA) 보다 높은 분해능을 구현하고
있음

활용분야
반도체제조공정 실습교육과 동시에 실험실습한 반도체의 특성을 분석함으로써, 반도체의 p-n 접합
을 이해하고 마이크로웨이브 및 광회로에 응용되는 반도체의 응용회로를 이해하고 응용하는데 사용
된다

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