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공동활용 연구장비

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주사 탐침 현미경

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Scannin Probe Microscope( AFM + STM )

  • 모델명 Nanoscope Multimode 4
  • 제조사 Digital Instruments
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

상세정보

구축일자 2003-08-20
납품업체 Digital Instruments
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교
구성및성능 1. 분해능 1) 수평분해능 - 0.1nm 2) 수직 분해능 -0.01nm 2. 스캐너 종류 1) 타입 A : 0.4um * 0.4um 2) 타입 E : 10um * 10um 3) 타입 J : 125um * 125um 3. 측정모드 1) contact mode 2) tapping mode 3) STM 4) MFM 5) EFM
장비안내 특징
물질의 표면특성을 원자단위까지 측정할 수 있는 새로운 개념의 현미경을 총칭하는 말이 다. 우리나라에서는 원자현미경이라고 불리워진다. 원자 는 너무 작아서(0.1-0.5nm) 아무리 좋은 현미경로도 볼 수 없다는 기존의 통념을 깨뜨린 원자현미경은 제 1 세대인 광학현미경 과 제2 세대인 전 자현미경 다음의 제 3 세대 현미경으로 자리 잡아가고 있다. 광학현미경 의 배율이 최고 수천 배 전자현미경(SEM)의 배율이 최고 수십 만 배인 데 비해 원자현미경 의 배율은 최고 수천만 배로서 개개의 원자를 관찰할 수 있다. 투과식 전자 현미경인 TEM 도 수평방향의 분해능은 원자단위 이나 수직 방향의 분해능은 훨씬 떨어져 개개의 원자를 관 찰할 수는 없다. 원자현미경의 수직방향의 분해능은 수평 방향보다 더욱 좋아서 원자 지름 의 수십분의 일(0.01nm)까지도 측정해낼 수 있다. SPM 에는 원자현미경 계열 중 처음으로 등장한 STM(Scanning Tunneling Microscope) 부도 체시료의 측정을 가능케 한 AFM (Atomic Force Microscope) 물질의 형상이외에 다른 특성들을 측정할 수 있는 MFM (Magnetic Force Microscope) LFM(lateral Force Microscope) FMM(Force Modulation Microscope) EFM(Electrostatic Force Microscope) SCM(Scanning Capacitance Microscope) 그리고 ECSPM(Electrochemistry SPM) 등이 있다. 이러한 원자현미경 외에도 물 질의 광학적 특성을 빛의 파장 보다 훨씬 작은 분해 능(~50nm)으로 알아내는NSOM(Near- field Scanning Optical Microscope) 시료표면의 온도분포를 재는 SThM(Scanning Thermal Microscope) 등의 원자현미경이 있는데 아직은 널리 사용되고 있지 않으나 앞으로 발전 응 용 가능성이 많다.

구성및성능
1. 분해능 1) 수평분해능 - 0.1nm 2)

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