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DC/RF Magnetron Sputtering

  • 모델명 DVSE-43T
  • 제조사 제작사 없음
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 1993-10-22
납품업체 제작사 없음
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 (용봉동) 77 전남대학교
구성및성능 - 진공시스템 - RF 파워 - Control 유닛 - 진공챔버
장비안내 - 금속이나 반도체의 표면에 다른 성분을 증착하거나 에칭하는데 사용하는 장치로 플라즈마를 이용한다.

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