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공동활용 연구장비

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물리-화학적 증착 하이브리드 시스템

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PVD-CVD Hybrid System

  • 모델명 2D MatriXplorer
  • 제조사 싸이엔텍
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2025-11-27
납품업체 싸이엔텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 광주과학기술원 GIST대학 C동 F3층 303호
구성및성능 전이금속 스퍼터 모듈
-3 gun Sputter (co-depo.)
-3 RF power 600W
-Gun Angle control
-Sub. DC bias ~1kW
화학기상증착 모듈
-비활성 가스 (Ar, N2)
-활성 가스 캐니스터 (S, P, Se 등)
-Sub. ~800℃
물질조합증착 모듈
-Moving Sutter 4″, XYZ 이동
-4″내 5x5 (25) points (max)
장비안내 - PVD는 3건으로 성분 조합 가능하며, 하부 DC bias 인가 가능
- CVD는 800도까지 승온 가능하며 유기 전구체 주입 가능
- Vac. break 없이 PVD와 CVD 연속 공정 진행 가능
- 4인치 웨이퍼 내 최대 25종 물질조성 변화로 Combinatorial 증착을 한번에 진행 가능

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