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공동활용 연구장비

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엑스선 광전자 분광기 시스템

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X-ray Photoelectron Spectroscopy System

  • 모델명 NEXSA G2
  • 제조사 Thermo Fisher Scientific
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > 광전자분광기

상세정보

구축일자 2024-11-13
납품업체 Thermo Fisher Scientific
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 중앙기기연구소 (C11) F1층 115호
구성및성능 ◌ Electron analyzer
- Minimum energy step size : 3 meV
- XPS ultimate energy resolution of Ag 3d5/2 : ≤ 0.5 eV FWHM
- Ultimate spatial resolution : < 10 um
- XPS on insulators : C 1s energy resolution (Ev) : < 0.85 eV
- Pass energy : 1 ~ 400 eV continuously selectable
- Detector : 128 channel detector
- Maximum sensitivity at 1 eV FWHM on Ag3d5/2 : > 6,500,000 cps
- X-ray spot sizes : 10 ~ 400 um

◌ X-ray source
- Anode Material: Al anode
- Type: Micro-focused Monochromator
- Maximum operation power: 120W

◌ Ar ion source
- Monatomic Ar+ ion source : 0.5 ~ 4 keV

◌ Vacuum transfer vessel
- Sample holder allowing samples to be transferred under vacuum into the system samples
장비안내 ◌ 엑스선 광전자분광기(XPS)는 X선을 시료에 조사하여 광전효과에 의해 방출되어 나온 광전자를 분석하는 방법임

◌ 시료 표면에 X-ray를 주사하여 발생하는 광전자 운동에너지를 측정하여 시료의 조성, 정량 및 전자의 화학적 결합상태에 대한 정보를 얻을 수 있음

◌ 표면 및 계면 미소영역에서의 원소별 분포를 이미지화함으로써 표면 부식 또는 오염 물질의 분석에 활용될 수 있고, 시료에 대한 깊이 방향 분석(depth profiling) 분석을 통해 다층 박막 구조를 가진 발광소자, 태양전지 등의 성능 특성 규명에 활용할 수 있음

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