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공동활용 연구장비

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밀폐형 고체재료 열처리 합성 장비

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Sealingtype solidstate material heattreatment synthesis apparatus

  • 모델명 -
  • 제조사 ㈜LIV Energy
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열처리장치

상세정보

구축일자 2024-03-20
납품업체 ㈜LIV Energy
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 신재생에너지연구동 F3층 319호
구성및성능 - 온도: >500도 ℃
- 가압 압력: >5기압
- 감압 압력: <5*10-4 Pa
- Volume flow rate - N2 – 2*107
H2 – 2*103
- Base Pressure - VG · ISO-R <5*10-8
CF (Pa) <1*10-8
VG · ISO-R <3.8*10-8 CF (Torr) <7.5*10-9
장비안내 본 장비는 밀폐, 압력, 온도를 제어를 제어할 수 있는 열처리 장치이며, 온도 500 ℃이상, 압력 5기압 이상, 감압압력 5*10-4 Pa 이하의 범위를 유지하는 열처리 장비로 재료 합성 및 열처리 과정에 있어 안정된 환경을 제공할 수 있다.

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