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공동활용 연구장비

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글러브박스 결합형 금속 및 유기물 열 증착 시스템

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Glove box integrated thermal evaporator system

  • 모델명 Passage
  • 제조사 대동하이텍
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2023-09-29
납품업체 대동하이텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F9층
구성및성능 구성
Vacuum Process Chamber Unit
Vacuum Pumping Unit
Substrate Rotation Unit
Sample Transfer Unit
Vacuum Gauge Control Unit
Thermal Source & Power Supply Unit
Co-deposition Rate Control Unit
Frame & Control Panel Unit
Glove box Integration Unit

성능
ⓐ Process chamber base pressure : ≤ 7 x 10-8 Torr
ⓑ Process chamber pumping speed : ≤ 10-7 Torr (Within 40 Min, After chamber vent)
장비안내 본 장비는 다양한 광반도체 소자 제작에 활용 가능함.
소자를 구성하는 다양한 기능층을 열증착으로 구현할 수 있음.

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