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공동활용 연구장비

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전자빔 열 증착장비

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E-beam/thermal evaporator(GLAD)

  • 모델명 KVE-E4000
  • 제조사 코리아바큠테크㈜
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기

상세정보

구축일자 2023-11-06
납품업체 코리아바큠테크㈜
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 전기전자컴퓨터공학부 A동 F1층 A108호
구성및성능 ● GLAD Dual E-beam Evaporator System
- Process chamber unit (SUS304)
- Vacuum pumping unit (Cryo pump+Rotary pump)
- Substrate unit (4″, cooling, tilt & rotation)
SAMPLE HOLDER
SIZE : PIECE TO 4 INCH WAFER MOUNTABLE
SAMPLE COOLING ASSEMBLY
MATERIAL : COPPER
- Vacuum gauge control unit
- E-beam source & Power supply unit
ROTATABLE E-BEAM SOURCE
6 POCKET x 7 cc crucible
270° DEFLECTION TYPE
EXTERNAL ROTARY WATER SEAL TYPE
TELEMARK BRAND
E-BEAM POWER SUPPLY
INCLUDE STANDARD X-Y SWEEP CONTROL UNIT
INPUT POWER : 208/240, VAC/3∅, 60Hz
OUTPUT VOLTAGE : -6 TO -8KV
MAXIMUM EMISSION CURRENT : 750mA
- QCM deposition control unit (3 QCM) (동시 증착)
- Frame & System control unit (Auto)
- 기판전용 냉각칠러
장비안내 본 장치는 4인치 수준의 실리콘 웨이퍼 등 시료에 고품질 무기 나노 복합 박막과 나노 구조체 제조 및 물성 분석을 주요 목적으로 하는 장비임. 고진공 분위기에서 여러 층의 박막을 증착할 수 있을 뿐만 아니라, 극좌표 및 방위각 회전을 동시에 정확하게 제어함으로써 구형, 주상형, 나선형 구조 등 다양한 3차원 구조 성장이 가능함. 이러한 박막 및 구조체는 광소자, 전자소자, 촉매 등 다양한 응용 분야에 활용됨.

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