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공동활용 연구장비

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원자층 증착장비

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Atomic layer deposition system

  • 모델명 ALD(Space100)
  • 제조사 (주)울텍
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비

상세정보

구축일자 2022-11-18
납품업체 (주)울텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 신소재공학동(S5 건물) 지능형 금속배선 연구실 F2층 207호
구성및성능 HfO2, ZnO, Al23O 증착 가능합니다.샤워헤드(showerhead) 방식으로 박막을 증착하기에 6인치 웨이퍼 크기의 샘플에 박막을 균일하게 형성할 수 있습니다.
장비안내 반도체 소자제작에 필수적인 ZnO를 비롯한 산화물을 원자층 단위로 증착할 수 있는 장비입니다.

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