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분광타원기

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Spectroscopic Ellipsometer

  • 모델명 Elli-SEUN-am8
  • 제조사 (주)엘립소테크놀러지
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계

상세정보

구축일자 2023-07-20
납품업체 (주)엘립소테크놀러지
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 중앙연구기기센터 (C11) F1층 116호
구성및성능 1. Light source: Tungsten halogen & Deuterium lamp (193 nm ~ 2,100 nm)
UV Collimating lens system
2. Polarizer module: UV Collimating optic system
Rotating polarizer: Micro Stepping motor control
3. Retarder Module: λ/4 Retarder, Beam deviation ≤1 arc min
4. Controls Module: Stepping motor driver & DC power supply,
Control circuits.
5. Analyzer module: UV Collimating optic system
Rotating analyzer: Micro Stepping motor control
6. Soft Ware : GUI for user( ElliSE54 Ver.), Operation & Analysis Software
Measurement result / Status / Error history / Display
Initialization, Calibration, Measurement.
Data analysis : (n, k, λ) & Thickness
Simulation : (λ,Δ,ψ), (n, k, λ), etc.
Multi layer modeling
7. Spectrograph: Wavelength range : 193 nm ~ 2,100 nm (CCD Type)
8. Auto Goniometer Angle: 45°~ 90° , 0.1°Step variable angle of incidence
9. Auto Mapping System: Auto-Mapping Stage (8 inch, 200mm)
10. Sample Stage: 6inch, 150 mm Circle type
11. Reference Sample: 4 inch SiO2/c-Si 100nm, 200nm wafer
장비안내 - Ellipsometer는 측정을 통해 얻을 수 있는 광학상수들을 통해 곰품질 및 고성능 박막을 위한 제작공정 최적화에 활용될 수 있으며, 반도체 산업에서 널리 사용되고 있음.
- 또한, 분석 라이브러리를 이용하여 기존에 알려진 소재에 대한 물성분석의 정확성을 확인할 수 있으며, 복합소재 및 나노소재 구조체의 물성, 신규 합성/개발소재의 광학적 물성분석이 가능함.
- 고체 상태의 박막뿐만 아니라 유기물 박막 재료의 분석도 가능하며, 반도체, 에너지, 바이오 분야 등 널리 활용될 수 있음.

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