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공동활용 연구장비

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스트레스 측정장치

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Residual Stress Tester

  • 모델명 Opticurve Alpha
  • 제조사 제이앤엘테크
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 물리적측정장비 > 힘/토오크/압력/진공측정장비 > 중력/압력/진공측정장비

상세정보

구축일자 2022-09-29
납품업체 제이앤엘테크
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 전기전자컴퓨터공학부 A동 F1 층 108호
구성및성능 가. 특장점
- Substrate의 곡률 또는 변위 측정에 기초한 방식(Laser optical method)에 의한 박막
잔류 응력 측정
- 비정질 상태의 박막 응력 측정 가능
- 1차원 레이저 어레이를 사용하여 단일 레이저 대비 높은 곡률 분해능을 구현
- 간단한 원클릭 조작법
나. 성능 및 정밀도
- 곡률 측정 범위 : 0.8m ~ 1,000m
- 곡률 측정 분해능 : 1 x 10-4m-1 (rms : 1 x 10-3m-1)
다. 소프트웨어
- 강도, 차등 스폿 간격, 곡률, 잔류 응력의 실시간 플로팅
- 박막/기판 복합체의 곡률과 Stoney 공식을 이용하여 잔류 응력 산출
- 측정 결과를 리포트로 출력하거나 ASCII 포맷으로 데이터의 저장을 할 수 있음
장비안내 - 본 장비는 Substrate의 곡률 또는 변위 측정에 기초한 방법(Laser optical method)을 사용하여 박막의 잔류 응력을 평가하기 위한 시험기입니다.
- 박막은 제조 과정에서 성장 방법과 서로 다른 물질 간의 물성(열팽창 계수, 탄성 계수 등) 차이로 인해 고유한 잔류 응력을 지니게 되는데, 박막에 발생하는 응력은 기판을 변형시켜 곡률을 발생시키거나 박막 자체의 파괴를 유발하며, 특히 소재/부품에 있어 전기적 특성이나 기계적 특성에 영향을 줌으로써 원래 의도하던 성질을 왜곡시키는 역할을 하게 됩니다. 따라서 박막 제조에 있어 박막의 잔류 응력 발생 원인을 이해하고 박막의 잔류 응력을 조절하는 것은 박막의 신뢰성 측면에서 매우 중요합니다.
- 본 장비는 박막 잔류 응력에 대한 정량화된 데이터를 얻을 수 있고, 측정 또한 간편하므로 박막 제조 기술이 폭넓게 이용되는 광학, 반도체, 디스플레이, 배터리용 소재 및 부품 등 다양한 산업 분야에서 박막 내 응력을 측정하고 해석하는 기능으로 연구 개발 및 품질 관리 등에 널리 사용되고 있습니다.

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