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공동활용 연구장비

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엘립소미터

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Ellipsometer

  • 모델명 Elli-SEU
  • 제조사 엘립소테크놀러지
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계

상세정보

구축일자 2022-11-10
납품업체 엘립소테크놀러지
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 전기전자컴퓨터공학부 A동 F1층 108호
구성및성능 ○ UV Light Source (Deuterium & LED Lamp)
- Wavelength range: 220 nm ~ 880 nm
- Beam spot size: ≤ 1.5 mm
- Measuring constants: Film thickness, n, k vs λ
- Thickness range: sub Å ~ 10 μm (depends on film type)
- Number of layers: Up to 10 layers (depends on film type)
- Throughput: ~ 10 sec. per point (depends on film)
○ Analyzer module
- UV Collimating optic system
- Rotating analyzer: Micro Stepping motor control
○ Auto Collimator Collimating system
○ Retarder Module: λ/4 Retarder, Beam deviation ≤1 arc min
○ Controls Module
- Stepping motor driver & DC power supply
- Control TTL circuits
○ Analyzer module
- UV Collimating optic system
- Rotating analyzer: Micro Stepping motor control
○ Spectrograph Wavelength range
- 220 nm ~ 880 nm (CCD Type)
- Resolution : 1.5 nm FWHM
○ Z-Tilt Axis Sample Stage
- 6inch, 150 mm Circle type
- Manual tilt adjustment of the sample
○ Angle of incidence
- Manually variable angle of incidence
- 45˚~ 90˚ (5˚ Step)
○ Auto Collimator Collimating system
장비안내 ○ 광원에서 나온 전자기파가 선형 편광자를 통과한 후에 시료에 부딪히면, 그 반사된 빛을 또 다른 편광자에서 검출하는 방법
○ 편광상태 변화는 측정한 시료의 특성 (두께, 복소 굴절률 또는 유전함수)에 따라 결정
○ 공정실 내부에 배치해 웨이퍼 위 박막 특성을 평가함
○ 소자 제작 과정에서 신속하게 소자 불량 여부를 판단하여 수율 증대

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