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공동활용 연구장비

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대면적 열증착 시스템

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Large area thermal evaporator system

  • 모델명 Solar-Bridge
  • 제조사 대동하이텍
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2022-11-22
납품업체 대동하이텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 신재생에너지연구동 F1층 101호
구성및성능 *장비구성
- 저진공의 loadlock chamber 및 rotary pump
- 고진공의 증착 chamber 및 rotary pump, Cryo pump
- Evaporation source, Mask holder shutter 등
장비안내 대면적 챔버 내 10-6 torr 고진공 분위기 형성 후 전압 인가를 통해 줄열을 발생시켜 금속 산화물, 희토류 금속등의 ingot을 기화시켜 샘플에 증착시키는 일반적인 열증착 장비.
단시간 내 고진공 조건에서 균일한 박막 증착과 정밀한 두께 제어가 가능하며 금속산화물, 금속 및 유기소재의 박막 형성에 용이

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