Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

20221219000000268917.jpg

다이싱 머신

상담·문의하기

Accurate Dicing Machine

  • 모델명 SD351
  • 제조사 주식회사 에스알
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 절삭장비 > 절단장비

상세정보

구축일자 2022-12-16
납품업체 주식회사 에스알
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 전기전자컴퓨터공학부 A동 F1층 102호
구성및성능 ○ X 축
- Usable Stroke: 610 mm
- Cutting Speed: 0.1~650 mm/sec
○ Y 축
- Usable Stroke: 450 mm 이상
- Indexing Step : 0.0001mm
- Indexing Accuracy Single Pitch : 0.001mm
- Indexing Accuracy cumulative Pitch : 0.001/410 mm
- Resolution : 0.0001 mm 이하
○ Z 축
- Maximum Cutting Stroke : 35 mm for 2”Blade 이하
- Moving Resolution : 0.0001 mm
- Repeating Accuracy : 0.001 mm
- Maximum Blade size : 56 mm / 76 mm (선택가능)
○ θ 축
- Rotation Angle : 380 deg
- Blade Touch Sensor : Contact Set-up
○ 스핀들
- Motor : 3 Phase, 4 pole, BLDC
- Output : 1.2kw , 1.8kw, 2.4kw (선택가능)
- Continuous Torque : : 0.3N.m / 0.85N.m
- Maximum Revolution : 60,000 rpm
○ 비전 유닛
- Manual/ AutoAlignment System
- Vision Camera : 1/3 CCD Camera160X(Low), Camera160X(High)
- Main Monitor : 17” LCD Touch Panel
장비안내 - 반도체 기판에 제작된 다수의 광전자 소자를 절단하여 분리하는 공정 수행
- 정교한 절삭 공정을 통해서 고효율 및 고수율의 프로토타입 소자 제작
- 화합물 반도체 에피 구조 절삭을 통한 공정 조건 확립 실험 수행

목록보기