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대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

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표면 단차 분석기

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Surface profiler

  • 모델명 Alpha-Step D-600
  • 제조사 Kla-tencor
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

상세정보

구축일자 2022-11-15
납품업체 Kla-tencor
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 전기전자컴퓨터공학부 A동 F1층 108호
구성및성능 Profiler 2D acquisition and surface analysis software
55 mm scan length
Optical lever sensor head
- Vertical range: 0 - 1200 μm
- Force range: 0.03 - 15 mg
- Computer stylus force control
Side view optics
- 3760 x 3120 μm FoV
- 5 MP color digital camera
- 4x digital zoom
- Keystone correction for angled optics
Motorized sample stage
- 200 mm diameter chuck with vacuum sample hold down
- XY stage movement: 150 x 178 mm
Manual stage leveling
PC configuration (minimum specifications):
- Windows 10 Professional
- 3.7 GHz Intel dual core processor
- 4 GB RAM
- 500 GB hard drive
- 16x DVD+/-RW Drive
- USB 2.0 (front and rear ports) and one Ethernet (RJ45) port
- MS Office Business 2016

1. 지름 200mm X-Y 자동 샘플 진공 stage
2. 측정거리: 55 mm
3. 측정 속도: 10 um/sec to 400 um/sec
4. 측정 단차 분해능: 0.38 옹스트롬
5. 최대 단차 측정 데이터 수: 120,0006.
6. 탐침의 내리 누르는 힘: 0.03~50mg 조절 가능
7. 최대측정 단차 높이 : 1,200um




- micron step height standard
- 50 micron step height standard
- Stylus 2um Rad, 60 deg
- Power Cord, Cont. Europe,Korea
- Universal Stress Chuck Kit
- 19" Flat Panel LCD Monitor
- Air Vibration Isolation Table (600x700x750mm)
장비안내 접촉식 표면 분석기는 200mm의 기판에 대한 앙스트롬 레벨의 분해능으로 최소 100옹스트롱부터 최대 1200um단차 높이/깊이, 표면 거칠기와 같은 2차원 정밀 측정을 가능하게 함

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