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패럴린 증착기

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Parylene Coating System

  • 모델명 LAVIDA-110H
  • 제조사 펨토사이언스(Femto Science)
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기

상세정보

구축일자 2021-09-28
납품업체 펨토사이언스(Femto Science)
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 신재생에너지연구동 F5층 501호
구성및성능 * Chamber : I.D. 200 X Length 420(mm)

* Vaporizer : Max. 200℃

* Pyrolysis : Max. 800℃

* Controller : Auto & Manual control by 10.2" touch PC

* Geometry : W. 1600 X D. 800 X H. 1300(mm)

* Option : Plasma Integration
장비안내 Parylene 이란 polyxylylene를 말하는 것이며,
Parylene coating 이란 상온의 진공상태에서 Parylene 을 열로 분해하여 polymer 형태로 만들어 코팅하는 것을 말합니다.

Parylene Coating은 진공 상태의 챔버 내 가스 형태로 형성되어 수 나노미터 ~ 수 마이크로 두께 단위로 코팅하고자는 물질에 증착되는 고분자 코팅으로 제품의 형태에 상관없이 conformal coating의 특성이 있습니다. 화학적으로 매우 안정적이며 탁월한 보호막으로 전기∙전자 재료에 절연 및 방수를 위해 사용되고 있으며, 또한 FDA의 승인을 받은 생체적합성 제품으로 의료제품 코팅 재료, 엔지니어링 등 장치 부품의 표면 보호를 위해 사용되고 있습니다.

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