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공동활용 연구장비

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전자주사현미경

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Normal Scanning Electron Microscope (Normal SEM)

  • 모델명 AIS2000C
  • 제조사 새론테크놀로지
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2021-09-24
납품업체 새론테크놀로지
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1번지 정보통신공학과 A동 F1층 102호
구성및성능 (1) Main Console(250Kg) - Product Size : 508(L) x 860(W) x 1,500(H)mm
- Material: 100% Mu-metal shielded column for De-Magnetization
- Resolution: 3.0nm
- Pixel Resolution: 640X480~ 4096X3072 (Max8192X6144).
- Magnification : 10X~Max.1,000,000X (추가 Digital Zoom X2/X4/X8)
- Accelerating Voltage: 0.6keV(Min.0.2keV)~30keV
Voltage Step: 100eV/0.1~1KV 1kV/1~30kV
- Chamber: 260(L)X 320(D)X290(H)mm
- Stage: 5Axis Eucentric Motorized(X/Y/R=60/70/65mm) Tilt-20∘~60∘(Max90∘ ) R=360∘
with Auto stepping & Tiling
- Beam Control: Shift=250um, Rotation=R=360∘
- Vacuum System: R.P(200L/m)+ TMP(300L/s),
(2) Desk with SMPS (100Kg)
- Product Size : 1005(L) x 770(W) x 720(H), Unit: mm l
장비안내 주사전자현미경(SEM)은 진공상태에서 전자빔을 시료 표면에 주사하여 획득한 시료표면의 2차 전자를 이미지로 구현하는 나노스케일의 고분해능 현미경이다. 시료 표면을 수십배부터 수십만배까지 확대하여 표면의 상태나 조직등을 관찰할 수 있으며, 획득된 이미지를 장비에 탑재된 이미지 Analyzer SW를 통해 다양한 2차 분석에 활용할 수 있다. 또한, BSE나 EDS 같은 추가 디텍터들을 장착하여 시료의 Topology나 성분 분석에도 활용할 수 있는 대표적인 측정 장비의 하나이다.
해당 장비는 다양한 금속 및 산화물로 형성된 3차원 나노구조 관측이 가능하다.

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